我国双折射双频激光干涉仪实现批量生产

2022-11-14 19:53

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3月2日从清华大学精密仪器系获悉,该系张书练教授课题组进行原理研究并由北京镭测科技有限公司开发生产的双折射双频激光干涉仪实现批量生产。

双频(两频率)激光干涉仪是科学研究、光刻机、数控机床、航空航天、舰船等行业都离不开的光学尺子,用于测量零部件的尺寸,角度,位置,直线性,也是检定各类数控机床、激光加工机床以及光刻机台的精度,进行误差补偿的基本仪器。

张书练介绍,双频激光器是双频激光干涉仪的核心部件。国外干涉仪厂家都是自制专用激光器,称为塞曼双频激光器,不对外供应。此前我国的双频激光干涉仪只能进口普通激光器,从中选出可用的,淘汰率高,性能上不去,导致双频激光干涉仪国产化困难。

据介绍,此次清华大学精密仪器系发明的双折射原理的双频激光器比传统的塞曼双频激光器的激光功率高一倍、频率间隔大一倍或两三倍、没有两个频率之间耦合串混。分辨率达到1纳米(十亿分之一米),线性测量长度范围0到70米,非线性误差小于1纳米,测量速度超过2米

张书练指出,双折射双频激光器的使用带动了干涉仪整机的光机电系统创新设计,使双折射双频激光干涉仪具有便携,方便,鲁棒等优良性能。

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