化学仪器模板

NOVACAM TM 3D 计量系统可靠地表征具有高纵横比特征的表面，例如台阶、凹槽、通道和沟槽。

该系统提供：

• 非接触式共线扫描：发射和接收的光信号沿着相同的路径传播。无需三角测量

• 高速表面采集：每秒 2,100 到 100,000 个 3D 点

• 亚微米分辨率

• 比三角测量传感器和彩色共焦系统具有更高的灵敏度

与三角测量技术相比，共线扫描可以更好地测量高纵横比特征

具有高纵横比通道的燃料电池双极板

应用：用于晶圆抛光的 CMP（化学机械抛光）垫的测量。CMP 垫是由多孔聚合物材料制成的消耗品，并带有高纵横比通道图案。凹槽（通道）的位置、宽度和深度严重影响 CMP 工艺性能。

NOVACAM 3D 计量系统用于在制造过程中测量 CMP 垫槽的几何形状，其中测量过程直接集成到 CMP 垫加工站中。在这里，它们有助于优化钻头更换时间，降低流程成本。一旦部署在 CMP 过程中，垫也可以用相同的系统测量，以测量 CMP 垫条件并确定垫调节的最佳时间。

计量系统：OPTICAL 3D PROFILOMETER 系统 （用于线扫描） 或   SURFACEINSPECT 系统（用于高效区域扫描）

更多详细信息：   CMP 垫 应用页面的 3D 计量

应用：喷气发动机涡轮定子叶片上的 EDM 加工盲密封槽。槽长约 30 毫米（1.2 英寸），宽 0.4 毫米（0.0157 英寸），深约 1.8 毫米（0.07 英寸）。

计量系统：SURFACEINSPECT系统

更多详细信息：EDM 和激光加工应用页面的 3D 计量

应用：边缘半径测量

测量系统： EDGEINSPECT系统

更多详情： 边缘半径测量应用页面