边缘测量系统

用于边缘断裂/边缘半径的高精度 3D 测量


NOVACAM TM EDGEINSPECT TM系统是一种模块化、非接触式 3D 计量系统


  • 测量,精确到微米,任何类型的边缘:切割边缘、内边缘或外边缘、圆孔边缘、直边等。

  • 允许用户定义规格:用于几何尺寸和测试 (GD&T)、边缘断裂要求、角度测量、粗糙度等。

  • 实现完全可配置的自动检查

  • 检测微米级的表面缺陷:如毛刺、划痕、气孔等。

  • 可测量半透明涂层的厚度。

EDGEINSPECT 系统的振镜扫描探头以光栅方式采集表面。标准视野 (FOV) 高达 85 x 85 毫米。通过使用线性阶段移动振镜扫描仪和/或样本来获取更大的样本。

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边缘半径测量

在此视频中,钻头在卡盘底座上旋转,同时 EDGEINSPECT 系统的振镜扫描仪探头按照用户定义的扫描顺序从上到下检查工具。





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